Vorrichtung und Verfahren zur Stabilisierung der Strahlform und -Symmetrie für Gepuslte Hochleistungslaseranwendungen

EP2036168 Art B1 3. Juli 2019

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2036168
Aktenzeichen: EP07809174
Anmeldetag: 22. Mai 2007
Veröffentlichung: 3. Juli 2019
Erteilung: 3. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/08H01S3/00G02B27/14G02B19/00G02B27/09// H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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