Kammer für eine Hochenergie-Excimer-Laserquelle

EP2036169 Art B1 27. März 2013

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2036169
Aktenzeichen: EP07777259
Anmeldetag: 22. Mai 2007
Veröffentlichung: 27. März 2013
Erteilung: 27. März 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/20H01S3/03H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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