Vakuumdampfabscheidungsvorrichtung vom Aufnahmetyp
EP2037001
Art B1
14. September 2011
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2037001
- Aktenzeichen
- EP07744842
- Anmeldetag
- 7. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 14. September 2011
- Erteilung
- 14. September 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56C23C14/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
Albutt, Anthony John
London, Großbritannien
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