Vorrichtung mit Mobilem Element, Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren sowie Herstellungsverfahren dafür

EP2037487 Art A1 18. März 2009

Anmelder: Nikon Corporation, Sendai Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2037487
Aktenzeichen: EP07815065
Anmeldetag: 11. Juni 2007
Veröffentlichung: 18. März 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G01B11/00G01D5/38G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Sendai Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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