Anlage und Verfahren zur Grossvolumigen Abscheidung von Galliumnitrid

EP2038456 Art B1 5. März 2014

Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2038456
Aktenzeichen
EP07812070
Anmeldetag
8. Juni 2007
Veröffentlichung
5. März 2014
Erteilung
5. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/40C30B25/16C30B25/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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