Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Lithiumphosphatkörpers und Sputtertarget

EP2039665 Art A3 4. Mai 2011

Anmelder: ULVAC, Inc., Ulvac Materials Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2039665
Aktenzeichen
EP08252706
Anmeldetag
15. August 2008
Veröffentlichung
4. Mai 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C04B35/447C23C14/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ULVAC, Inc.
Ulvac Materials Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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