Sputtertarget/rückplatte-Verbindungselement

EP2039797 Art B1 29. August 2012

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation, Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2039797
Aktenzeichen
EP07742794
Anmeldetag
2. Mai 2007
Veröffentlichung
29. August 2012
Erteilung
29. August 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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