Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Reflektorspiegels

EP2040098 Art A1 25. März 2009

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2040098
Aktenzeichen
EP07744858
Anmeldetag
7. Juni 2007
Veröffentlichung
25. März 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/10C23C14/56F21S8/10F21V7/00F21V17/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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