Maskendatenerzeugungsverfahren, Maskenherstellungsverfahren, Belichtungsverfahren, Vorrichtungsherstellungsverfahren und Programm

EP2040120 Art B1 2. März 2011

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2040120
Aktenzeichen: EP08163469
Anmeldetag: 2. September 2008
Veröffentlichung: 2. März 2011
Erteilung: 2. März 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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