System und Verfahren für Flüssigkeitsfiltrierung mit Vermindertem Stauvolumen

EP2040813 Art A2 1. April 2009

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2040813
Aktenzeichen
EP07796035
Anmeldetag
13. Juni 2007
Veröffentlichung
1. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B01D29/11B01D29/21B01D29/92
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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