Filterung für ein Halbleiterbearbeitungswerkzeug
EP2040820
Art B1
27. März 2019
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2040820
- Aktenzeichen
- EP07810451
- Anmeldetag
- 13. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 27. März 2019
- Erteilung
- 27. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/04B01D46/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.105 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar