Filterung für ein Halbleiterbearbeitungswerkzeug
EP2040820
Art B1
27. März 2019
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2040820
- Aktenzeichen
- EP07810451
- Anmeldetag
- 13. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 27. März 2019
- Erteilung
- 27. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/04B01D46/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar