Getter- und Reinigungseinrichtung für eine Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche
EP2041623
Art A2
1. April 2009
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2041623
- Aktenzeichen
- EP07747540
- Anmeldetag
- 28. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 1. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20B08B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Slenders, Petrus Johannes Waltherus
Eindhoven, Niederlande
244
Patente gesamt
17
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Slenders, Petrus J. W
NoneEindhoven
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Swinkels, Bart Willem
NoneDen Haag