Beleuchtungssystem einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP2041625
Art B1
27. Juni 2012
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2041625
- Aktenzeichen
- EP07765066
- Anmeldetag
- 5. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 27. Juni 2012
- Erteilung
- 27. Juni 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B27/28G02B27/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
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