Verfahren und Vorrichtung zum Auftragen eines Mikrokristallinen Siliciumfilms für ein Pv-Bauelement

EP2041797 Art A2 1. April 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2041797
Aktenzeichen: EP07812222
Anmeldetag: 20. Juni 2007
Veröffentlichung: 1. April 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/24C23C16/455H01L31/075H01L31/076H01L31/18H01J37/32C30B25/10C30B29/06H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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