Träger für Doppelseitige Poliervorrichtung und den Träger Verwendende(s)doppelseitige Poliervorrichtung und Verfahren zum Doppelseitigen Polieren

EP2042267 Art B1 5. März 2014

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2042267
Aktenzeichen
EP07744696
Anmeldetag
5. Juni 2007
Veröffentlichung
5. März 2014
Erteilung
5. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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