Laserabtast-Mikroskop

EP2042905 Art B1 13. April 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2042905
Aktenzeichen
EP07790183
Anmeldetag
20. Juni 2007
Veröffentlichung
13. April 2016
Erteilung
13. April 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/00G01N21/64G02B26/08G02B21/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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