Lithografische Vorrichtung mit Lorentz-Aktuator und Verbundstoffträger

EP2042929 Art A1 1. April 2009

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2042929
Aktenzeichen
EP08165133
Anmeldetag
25. September 2008
Veröffentlichung
1. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H02K41/035
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands BV
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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