Verfahren zur Vermeidung von Ätzprofil-Biegung in Öffnungen mit hohem Aspektverhältnis durch die Behandlung des an den Öffnungsseitenwänden gebildeten Polymers
EP2043139
Art A2
1. April 2009
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2043139
- Aktenzeichen
- EP08165173
- Anmeldetag
- 25. September 2008
- Veröffentlichung
- 1. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/768H01J37/32
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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