Vorrichtung und Verfahren zum Aufbereiten eines Immersionsfluids
EP2044488
Art A1
8. April 2009
Anmelder: Entegris, Inc., ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2044488
- Aktenzeichen
- EP07836117
- Anmeldetag
- 18. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 8. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
ENTEGRIS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
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