Verfahren zum Erzeugen extremer Ultraviolettstrahlung und Vorrichtung als Quelle für extremes Ultraviolettlicht

EP2046100 Art B1 18. August 2010

Anmelder: Tokyo Institute of Technology, USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2046100
Aktenzeichen
EP08017220
Anmeldetag
30. September 2008
Veröffentlichung
18. August 2010
Erteilung
18. August 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Tokyo Institute of Technology
USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.

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Kanzlei
Lang & Tomerius München, Deutschland
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2
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