Nichtplasmaverfahren zur Entfernung von Photoresist von einem Substrat
EP2046691
Art A1
15. April 2009
Anmelder: BOC LLC, The Arizona Board of Regents on behalf of the University of Arizona, THE ARIZONA BOARD OF REGENTS on behalf of THE UNIVERSITY OF ARIZONA 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2046691
- Aktenzeichen
- EP05855630
- Anmeldetag
- 28. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 15. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03C23/00C23G1/00C23G1/02B08B7/00B08B7/04B08B3/00C23D17/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- BOC LLC
The Arizona Board of Regents on behalf of the University of Arizona
THE ARIZONA BOARD OF REGENTS on behalf of THE UNIVERSITY OF ARIZONA - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
The Arizona Board of Regents on Behalf of the University of Arizona
Der Arizona Board of Regents verwaltet im Namen der University of Arizona deren Patente aus der universitären Forschung. Das Portfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie organische Chemie, ergänzt durch Messtechnik und Optik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2024.
597 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wickham, Michael
Windlesham, Großbritannien
266
Patente gesamt
23
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte