Verfahren zur Entfernung von Nanoclustern aus Ausgewählten Bereichen

EP2047504 Art A2 15. April 2009

Anmelder: Freescale Semiconductor, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2047504
Aktenzeichen
EP07870952
Anmeldetag
24. April 2007
Veröffentlichung
15. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3205H01L21/336H01L21/28H01L21/8247
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Freescale Semiconductor, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Freescale Semiconductor

Ehemaliger US-amerikanischer Halbleiterhersteller, hervorgegangen aus einem Spin-off von Motorola, mit Schwerpunkt auf Mikrocontrollern und eingebetteten Prozessoren. Seit 2015 Teil von NXP Semiconductors.

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