Verfahren zur Herstellung einer Nanostruktur auf einem Vorgeätzten Substrat
EP2047509
Art B1
11. April 2012
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2047509
- Aktenzeichen
- EP07825248
- Anmeldetag
- 26. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 11. April 2012
- Erteilung
- 11. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L23/528
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bolinches, Michel Jean-Marie
Paris, Frankreich
283
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13
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