Verfahren zur Herstellung von Einkristallsubstrat mit Off-Winkel

EP2048267 Art B1 20. November 2013

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2048267
Aktenzeichen: EP07791065
Anmeldetag: 20. Juli 2007
Veröffentlichung: 20. November 2013
Erteilung: 20. November 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/00C30B25/02C30B29/04C30B33/00C30B31/22H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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