Verfahren zur Bildung einer Struktur, Zusammensetzung zur Bildung eines Oberschichtfilms und Zusammensetzung zur Bildung eines Unterschichtfilms

EP2048541 Art A1 15. April 2009

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2048541
Aktenzeichen: EP07791450
Anmeldetag: 27. Juli 2007
Veröffentlichung: 15. April 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/26G03F7/11G03F7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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