Ausrichtungs-Verfahren und -Gerät, lithographisches Gerät, Metrologiegerät und Herstellungsverfahren einer Vorrichtung

EP2048542 Art A2 15. April 2009

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2048542
Aktenzeichen
EP08253242
Anmeldetag
6. Oktober 2008
Veröffentlichung
15. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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