Entfernung einer Kante einer SOI-Transferhalbleiterscheibe

EP2048701 Art A3 29. April 2009

Anmelder: Soitec, S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies, Applied Materials, Inc. 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2048701
Aktenzeichen
EP08022218
Anmeldetag
24. November 2005
Veröffentlichung
29. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304H01L21/762H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies
Applied Materials, Inc.
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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