Software zur Analyse von Bestandteilen eines Plasmaverarbeitungssystems sowie Verfahren und System zu Ihrer Erstellung
EP2049989
Art A2
22. April 2009
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2049989
- Aktenzeichen
- EP07799939
- Anmeldetag
- 31. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 22. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F9/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
1.734
Patente gesamt
33
Fachgebiete
31
Anmelder-Länder
Schwerpunkte