Verfahren und Einrichtung zum Ätzen eines Substrats mittels eines Plasmas
EP2050119
Art A1
22. April 2009
Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2050119
- Aktenzeichen
- EP07793849
- Anmeldetag
- 12. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 22. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
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