Verspannte Schichten in Halbleiterpufferstrukturen

EP2050125 Art B1 20. Dezember 2017

Anmelder: ASM America, Inc., Soitec, S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies S.A. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2050125
Aktenzeichen
EP07799093
Anmeldetag
27. Juni 2007
Veröffentlichung
20. Dezember 2017
Erteilung
20. Dezember 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASM America, Inc.
Soitec
S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies S.A.
Land
🇺🇸 USA
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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