Reinigungsglied, Zufuhrglied mit Reinigungsfunktion und Verfahren zur Reinigung einer Substratverarbeitungsvorrichtung

EP2050515 Art B1 27. Februar 2013

Anmelder: Nitto Denko Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2050515
Aktenzeichen
EP07767769
Anmeldetag
28. Juni 2007
Veröffentlichung
27. Februar 2013
Erteilung
27. Februar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
B08B1/00B08B7/00C23C16/44H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nitto Denko Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nitto Denko

Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.

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