Reinigungsglied, Zufuhrglied mit Reinigungsfunktion und Verfahren zur Reinigung einer Substratverarbeitungsvorrichtung
EP2050515
Art B1
27. Februar 2013
Anmelder: Nitto Denko Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2050515
- Aktenzeichen
- EP07767769
- Anmeldetag
- 28. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 27. Februar 2013
- Erteilung
- 27. Februar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B1/00B08B7/00C23C16/44H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nitto Denko Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nitto Denko
Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.
8.011 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Ilgart, Jean-Christophe
Paris, Frankreich
2.520
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23
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