Vakuumbeschichtungsvorrichtung vom Aufnahmetyp mit Maskformungsmitteln

EP2050838 Art B1 28. November 2012

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2050838
Aktenzeichen
EP07791339
Anmeldetag
26. Juli 2007
Veröffentlichung
28. November 2012
Erteilung
28. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/56C23C14/04H01G13/00B05C1/08
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Albutt, Anthony John London, Großbritannien
1.129
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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