Lichtquellevorrichtung für Extrem-Ultraviolettlicht und Verfahren zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolettstrahlung
EP2051140
Art A1
22. April 2009
Anmelder: Tokyo Institute of Technology, USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2051140
- Aktenzeichen
- EP08018235
- Anmeldetag
- 17. Oktober 2008
- Veröffentlichung
- 22. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H05G2/00// G21K1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tokyo Institute of Technology
USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Institute of Technology
Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.
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