Bezüglich der Poliergeschwindigkeit Verbesserte Cmp-Zusammensetzungen für Dielektrische Filme

EP2052049 Art A1 29. April 2009

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2052049
Aktenzeichen
EP07810367
Anmeldetag
12. Juli 2007
Veröffentlichung
29. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C09K3/14C09G1/02C09K13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cabot Microelectronics Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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