Verfahren und System zur Verbesserung der dielektrischen Filmqualität zur vollständigen Lückenfüllung

EP2053640 Art A3 24. Oktober 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2053640
Aktenzeichen: EP08167333
Anmeldetag: 22. Oktober 2008
Veröffentlichung: 24. Oktober 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/316C23C16/40// H01L21/02C23C16/04C23C16/24C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von