Vakuum-Durchlaufanlage zur Prozessierung von Substraten

EP2053649 Art B1 8. Juni 2016

Anmelder: Centrotherm Photovoltaics AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2053649
Aktenzeichen
EP08167026
Anmeldetag
20. Oktober 2008
Veröffentlichung
8. Juni 2016
Erteilung
8. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677C23C16/458
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Centrotherm Photovoltaics AG
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Heyerhoff, Markus Überlingen, Deutschland
56
Patente gesamt
17
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
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