Luftkissentransport für Bahnen bei einem Bahnbeschichtungsverfahren

EP2053663 Art A1 29. April 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2053663
Aktenzeichen
EP07020927
Anmeldetag
25. Oktober 2007
Veröffentlichung
29. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/18H01L21/677C23C16/54B65H23/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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