In-situ Kammerreinigungsverfahren

EP2055397 Art A3 28. Oktober 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2055397
Aktenzeichen: EP08168111
Anmeldetag: 31. Oktober 2008
Veröffentlichung: 28. Oktober 2009
Rechtsraum: EP
IPC: B08B7/00H01L21/00H01J37/32C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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