Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerung von Tantalmetallfolien auf Oberflächen und Substraten
EP2057302
Art A1
13. Mai 2009
Anmelder: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2057302
- Aktenzeichen
- EP07841138
- Anmeldetag
- 21. August 2007
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C18/08C23C18/14C23C18/31
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Battelle Memorial Institute
Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.
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Vertreten von
Brown, Fraser Gregory James
London, Großbritannien
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