Verfahren und System zur Verringerung von Overlay-Fehlern in Belichtungsfeldern durch Apc-Steuerstrategien
EP2057506
Art B1
1. August 2012
Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., Advanced Micro Devices, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2057506
- Aktenzeichen
- EP07801880
- Anmeldetag
- 24. August 2007
- Veröffentlichung
- 1. August 2012
- Erteilung
- 1. August 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Advanced Micro Devices, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Micro Devices
US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.
1.708 Patente in unserer Datenbank