Wärmetransferelement und Anlage zur thermischen Behandlung von Substraten

EP2058841 Art B1 21. Mai 2014

Anmelder: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2058841
Aktenzeichen: EP08167941
Anmeldetag: 30. Oktober 2008
Veröffentlichung: 21. Mai 2014
Erteilung: 21. Mai 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt

Deutsches Forschungszentrum für Luftfahrt, Raumfahrt, Energie und Verkehr mit Hauptsitz in Köln. Das DLR ist zugleich die deutsche Raumfahrtagentur und betreibt zahlreiche Institute im gesamten Bundesgebiet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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