Rotationstemperaturgesteuerter Substratständer für Filmgleichmässigkeit

EP2058849 Art A3 31. März 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2058849
Aktenzeichen: EP08168783
Anmeldetag: 10. November 2008
Veröffentlichung: 31. März 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C25D17/00H01L21/00B25B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von