Verfahren zum Pumpen von Gas
EP2059328
Art B1
1. April 2015
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2059328
- Aktenzeichen
- EP07766477
- Anmeldetag
- 2. August 2007
- Veröffentlichung
- 1. April 2015
- Erteilung
- 1. April 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/22B01D53/32C23C16/44H01L21/00H01L31/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Clark, Charles Robert
West, Großbritannien
370
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte