Auf Festem Vorläufer Basierende Fluidzufuhr unter Verwendung von Kontrollierter Feststoffmorphologie

EP2059626 Art B1 17. Oktober 2018

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Metallurgie & Oberflächentechnik

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Medizintechnik & Gesundheit Organische Chemie Pharma & Biotechnologie Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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