Luftabgabe-Filtervorrichtung

EP2060309 Art B1 16. September 2015

Anmelder: Entegris, Inc., ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2060309
Aktenzeichen
EP07792457
Anmeldetag
13. August 2007
Veröffentlichung
16. September 2015
Erteilung
16. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
B01D29/00B01D29/11B41J2/175
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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