Resistzusammensetzung, Herstellungsverfahren für ein Resistmuster, neuartige Verbindung und Säuregenerator

EP2060600 Art B1 27. Dezember 2017

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2060600
Aktenzeichen
EP08168403
Anmeldetag
5. November 2008
Veröffentlichung
27. Dezember 2017
Erteilung
27. Dezember 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C08K5/41G03F7/004C07D333/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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