System und Verfahren zur Berarbeitung eines Objekts mit einem Strahl geladener Teilchen

EP2061066 Art B1 8. Januar 2014

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss NTS GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2061066
Aktenzeichen
EP08019703
Anmeldetag
11. November 2008
Veröffentlichung
8. Januar 2014
Erteilung
8. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/20H01J37/30H01J37/305G03F1/74G03F1/86
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss NTS GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

609 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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