Strahlenvorrichtung und Verfahren mit einer Partikelstrahlenvorrichtung und optischem Mikroskop

EP2061067 Art A3 7. April 2010

Anmelder: Carl Zeiss NTS Ltd., Carl Zeiss SMT Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2061067
Aktenzeichen: EP07120619
Anmeldetag: 13. November 2007
Veröffentlichung: 7. April 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/18H01J37/22H01J37/26G02B21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss NTS Ltd.
Carl Zeiss SMT Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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