Bauelement mit dualer Austrittsarbeit und spannungserzeugender Schicht sowie Verfahren zu dessen Herstellung
EP2061076
Art A1
20. Mai 2009
Anmelder: IMEC, Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (TSMC), INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2061076
- Aktenzeichen
- EP08157942
- Anmeldetag
- 10. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 20. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/8238H01L27/092
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. (TSMC)
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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