Verfahren zur Rezyklierung von Wasserstoff

EP2061578 Art A1 27. Mai 2009

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2061578
Aktenzeichen
EP07766482
Anmeldetag
3. August 2007
Veröffentlichung
27. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/00C23C16/44H01L21/00H01L31/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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